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電子產(chǎn)品的種類繁多,隨著微型化、精 密 化、高純度、高質量和高可靠的電子產(chǎn)品品種的增加,需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進行全過程生產(chǎn)或部生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有:各種半導體材料及其器件生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、化合物半導體生產(chǎn)、光電子生產(chǎn)、薄膜晶體管液晶顯示器(簡稱:TFT-LCD)生產(chǎn)、微硬盤驅動器(簡稱HDD)生產(chǎn)、等離子顯示器(簡稱:PDP)生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn)、光導纖維生產(chǎn)、印制電路板等。
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各類產(chǎn)品的品種不同和生產(chǎn)工藝不同,所要求的空氣潔凈度等級也不相同!" onmousewheel="return bbimg(this)" onload="javascript:resizepic(this)" border="0"/>
1.硅單晶及硅片加工要求的空氣潔凈度等級
2.集成電路的芯片制造用潔凈廠的空氣潔凈度等級、溫濕度要求
注:表中·為芯片生產(chǎn)設備配帶微環(huán)境裝置,裝置內(nèi)空氣潔凈度等級為1~2級!
3.TFT-LCD制造用潔凈廠房的空氣潔凈度等級、溫度、濕度
4.微硬盤驅動器(HDD)生產(chǎn)用潔凈廠房
濺射生產(chǎn)區(qū)4級:0.1μm、23±1℃、45%±5%;組裝、測試等6級:0.3μm、23±2℃、45%±10%。
5.高密度磁盤生產(chǎn)用潔凈廠房
(1)切帶間、帶基間、涂布間、固化間等6級:0.5μm、23±1℃、50±5%,其中,涂布間的頭部要求5級。
(2)組裝間7級:0.5μm、23±2℃、50±10%。
(3)配件間 6.彩色顯像管生產(chǎn)用潔凈廠房的空氣潔凈度等級 7.光纖生產(chǎn)用潔凈廠房的空氣潔凈度等級 8.磁頭生產(chǎn)用潔凈廠房 磁頭裝配 9.印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房:6.5級、24±2℃、65%±5%。 10.鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū):6級、23℃;露點(DP)-30℃;組裝、測試潔凈室(區(qū)):7級、23±2℃、≈20%。 11.等離子顯示器(PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房 涂屏間:5.5級、25±2℃,50%±10%。 其他生產(chǎn)間:6.5~8級、20~26℃、55%±10%!" onmousewheel="return bbimg(this)" onload="javascript:resizepic(this)" border="0"/>
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