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電子廠房潔凈度等級及標準參考!

 電子產(chǎn)品的種類繁多

,隨著微型化
、精 密 化
、高純度、高質量和高可靠的電子產(chǎn)品品種的增加
,需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進行全過程生產(chǎn)或部生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有:各種半導體材料及其器件生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)
、化合物半導體生產(chǎn)
、光電子生產(chǎn)、薄膜晶體管液晶顯示器(簡稱:TFT-LCD)生產(chǎn)
、微硬盤驅動器(簡稱HDD)生產(chǎn)
、等離子顯示器(簡稱:PDP)生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn)
、光導纖維生產(chǎn)、印制電路板等


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各類產(chǎn)品的品種不同和生產(chǎn)工藝不同,所要求的空氣潔凈度等級也不相同

,因此各種電子產(chǎn)品用潔凈廠房設計時,生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定
。由于各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝都各不相同,所以對于空氣潔凈度等級
、控制粒徑均列出一定的范圍供參考
,為說明這些差異,泰安市優(yōu)德環(huán)境科技有限公司列舉一些工程的實例供參考:


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1.硅單晶及硅片加工要求的空氣潔凈度等級


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2.集成電路的芯片制造用潔凈廠的空氣潔凈度等級

、溫濕度要求


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注:表中·為芯片生產(chǎn)設備配帶微環(huán)境裝置,裝置內(nèi)空氣潔凈度等級為1~2級

3.TFT-LCD制造用潔凈廠房的空氣潔凈度等級

、溫度、濕度


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4.微硬盤驅動器(HDD)生產(chǎn)用潔凈廠房

濺射生產(chǎn)區(qū)4級:0.1μm、23±1℃

、45%±5%
;組裝
、測試等6級:0.3μm、23±2℃
、45%±10%

5.高密度磁盤生產(chǎn)用潔凈廠房

(1)切帶間

、帶基間
、涂布間、固化間等6級:0.5μm
、23±1℃
、50±5%,其中
,涂布間的頭部要求5級

(2)組裝間7級:0.5μm

、23±2℃
、50±10%。

(3)配件間

、化驗室8級:0.5μm
、24±3℃、50±10%

6.彩色顯像管生產(chǎn)用潔凈廠房的空氣潔凈度等級

、溫度
、濕度


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電子廠房潔凈度等級及標準參考!


7.光纖生產(chǎn)用潔凈廠房的空氣潔凈度等級

、溫度
、濕度


電子廠房潔凈度等級及標準參考!


8.磁頭生產(chǎn)用潔凈廠房

磁頭裝配

、濺射燒結等要求4級(0.1μm),研磨
、檢測等要求5級(0.1μm)
,切割等要求6級。

9.印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房:6.5級

、24±2℃
、65%±5%。

10.鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū):6級

、23℃
;露點(DP)-30℃;組裝
、測試潔凈室(區(qū)):7級
、23±2℃、≈20%

11.等離子顯示器(PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房

涂屏間:5.5級

、25±2℃,50%±10%。

其他生產(chǎn)間:6.5~8級

、20~26℃、55%±10%


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